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由浙江晶盛機(jī)電股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）承擔(dān)的“8 英寸區(qū)熔硅單晶爐國(guó)產(chǎn)設(shè)備研制”（以下簡(jiǎn)稱“該課題”），近日順利通過(guò)國(guó)家 02 專項(xiàng)驗(yàn)收專家組的正式驗(yàn)收。
該課題是由天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司承擔(dān)的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)（簡(jiǎn)稱“02 專項(xiàng)”）“區(qū)熔硅單晶片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)與國(guó)產(chǎn)設(shè)備研制”項(xiàng)目下的課題之一。
專家組經(jīng)過(guò)實(shí)地檢查、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試、資料審查、內(nèi)部驗(yàn)收及驗(yàn)收前的現(xiàn)場(chǎng)復(fù)查等相關(guān)驗(yàn)收工作后，對(duì)課題完成情況作出了總體評(píng)價(jià)意見(jiàn)：“課題組完成了任務(wù)合同書(shū)規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容。研制出 8 英寸區(qū)熔硅單晶爐，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)、經(jīng)濟(jì)指標(biāo)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)指標(biāo)、人才隊(duì)伍建設(shè)指標(biāo)及平臺(tái)建設(shè)指標(biāo)均達(dá)到任務(wù)合同書(shū)的考核要求。提供的驗(yàn)收資料齊全。任務(wù)驗(yàn)收專家組同意課題通過(guò)驗(yàn)收?！?/span>
截至目前，通過(guò)該課題的實(shí)施，已在公司生產(chǎn)的區(qū)熔硅單晶爐上成功拉制出國(guó)內(nèi)首根 8 英寸區(qū)熔硅單晶棒，驗(yàn)證了公司自主研制的區(qū)熔硅單晶爐技術(shù)取得了突破性進(jìn)展，相關(guān)設(shè)備獲得了 26 項(xiàng)國(guó)家專利，其中爐內(nèi)晶體剪除機(jī)構(gòu)、多 CCD成像和輔助加熱等技術(shù)為國(guó)際首創(chuàng)，課題產(chǎn)品已成功產(chǎn)業(yè)化并形成銷售，取得了良好的社會(huì)、經(jīng)濟(jì)效益，產(chǎn)業(yè)化前景優(yōu)勢(shì)明顯。
該課題的實(shí)施，有效地打破了國(guó)外大直徑區(qū)熔硅單晶爐的技術(shù)壟斷，縮小了我國(guó)區(qū)熔單晶硅材料制造技術(shù)與國(guó)際先進(jìn)水平的差距，體現(xiàn)了公司的研發(fā)實(shí)力，有利于公司立足晶體生長(zhǎng)與智能化加工裝備的主業(yè)，推動(dòng)“新材料、新裝備”發(fā)展戰(zhàn)略全面實(shí)施。
